真空磁控溅射和多弧溅射介绍
结果是在原子水平上形成致密且极其光滑的涂层,并且大大超过了经典溅射和 Arco 涂层的质量和韧性。
得益于腾胜科技的专有技术,PVD 2.0 技术特别适用于汽车行业以及您希望从 PVD 获得最大性能的领域。PVD 2.0 使用长脉冲(高达 3.0 毫秒),在阴极上具有数百千瓦的功率。这赋予原子高能量,以便将它们投射到基材的表面层中,沉积致密的粘附涂层,没有表面缺陷且非常坚硬(> 30 GPa)并且杨氏模量增加(> 368 GPa)。
涂层示例:
●耐腐蚀性:CrN / NbN
●抗氧化性:CrAlYN/CrN、Ti-Al-Si-N、Cr-Al-Si-N
●光学系统:Ag、TiO2、ZnO、InSnO、ZrO2、CuInGaSe
●最大相:TiSiC
●微电子:Cu、Ti、TiN、Ta、TaN
●硬质涂层:氮化碳 CNx、Ti – C
●疏水表面:HfO2
磁控溅射镀膜机技术数据:
平均功率:20 千瓦
峰值功率高达 3 MW
最大功率:1500 V / 2000 A
脉冲长度:50-1500 ms