双辊多腔室磁控卷绕真空镀膜机

设备简述：TS-JRC系列双辊多腔卷绕镀膜机是专门面向高性能多层膜产品镀膜而开发的连续式卷绕镀膜设备，设备为双辊多室结构，设备配置两个镀膜室，有多达12个靶位，最多可以安装24支阴极。可以实现复杂膜系或者厚膜的制备。

设备应用：适用于在柔性基材如：PET/PEN/PI/PC/PE等有机薄膜或金属卷材、超薄玻璃等柔性材料表面采用磁控溅射工艺沉积Cu、Ag、Cr、Ni、Au、Si、ITO等导电膜或者NiCr、NiCu、InSn等合金膜或者SiO₂、Nb₂O₅、Al₂O₃等介质膜多层功能性或装饰性膜层。镀膜的产品可以应用在ITO透明导电膜、汽车/建筑窗膜、AR膜、彩色膜、透明高阻隔膜、电磁屏蔽膜和薄膜太阳能电池电极等等领域。在汽车、触摸屏、平板显示、薄膜太阳能电池、锂电池、柔性线路板、建筑节能等产业中有着广泛的用途。

设备特点：本机型是通过引进德国技术并进行进一步改良设计而成。设备装、卸料时镀膜室可保持真空状态，有效提高生产效率的同时还能够保证更稳定的镀膜品质。多达12个镀膜腔室、24支磁控靶位，镀膜腔室间隔气良好，适合多层膜的镀制工艺。设备具有产能大、稳定性强、重复性优、运行成本低等特点。可根据工艺要求配置：在线膜厚或电阻检测系统、闭环镀膜监控系统等装置，以满足更高要求的镀膜需求。