单辊多腔体磁控卷绕真空镀膜机

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设备简述：TS-JRC系列单辊多腔卷绕镀膜机。此机型为标准型的多层膜卷绕镀膜机，是一款适用性强、性价比高和技术成熟度高的连续镀膜设备。多达6个阴极靶位，12支靶的安装位置可以实现更复杂的镀膜工艺。

设备应用：适用于在柔性基材如：PET/PEN/PI/PC/PE等有机薄膜或纸、布、海绵、金属卷材、超薄玻璃等柔性材料表面采用磁控溅射工艺沉积Cu、Ag、Cr、Ni、Au、Si、ITO、C等导电膜或者NiCr、NiCu、InSn等合金膜或者SiO₂、Nb₂O₅、Al₂O₃等介质膜的单层或多层功能性或装饰性膜层。镀膜的产品可以应用在ITO透明导电膜、汽车/建筑窗膜、AR膜、彩色膜、高反射膜、透明高阻隔膜、电磁屏蔽膜和薄膜太阳能电池电极等等领域。在汽车、触摸屏、平板显示、薄膜太阳能电池、锂电池、柔性线路板、建筑节能等产业中有着广泛的用途。

设备特点：设备收卷、放卷、镀膜分别在不同的真空室内。装、卸料时镀膜室可保持真空状态，大大提高了生产效率和更好保证了镀膜重复性和稳定性。设备采用磁控溅射镀膜方式，可配置旋转或者平面溅射阴极，匹配直流或者用于反应溅射的中频磁控溅射电源。腔室间隔气良好，适合多层膜的镀制工艺。这款机型具有产能大、稳定性强、重复性优、自动化程度高等特点。可根据工艺要求加配：在线光学检测或电阻检测系统、闭环镀膜监控系统等装置，以满足更高要求的镀膜工艺。