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设备简述:TS-CJLW系列太阳能电池镀膜生产线是一种专门针对太阳能电池工艺的PVD连续镀膜生产线。包括针对异质结HJT工艺而开发的PVD镀膜生产线,可以同时实现双面TCO膜层镀制。另外我们还推出了针对薄膜太阳能电池镀制电极层或者吸收层的单面PVD镀膜生产线,设备可以镀制Al、Ag、Mo、AZO、Cu、In、Ga或者合金层等膜层。
设备应用:设备专门用于HJT异质结太阳能电池电池片PVD镀膜或者薄膜太阳能电池片的电极层等制备工艺。可以实现双面ITO镀膜工艺,或者单面镀制Al、Ag、Mo、AZO、Cu、In、Ga或合金膜层。
设备特点:设备采用磁控溅射镀膜工艺,可同时完成硅基太阳能电池片双面TCO膜层镀膜或者实现薄膜太阳能电池电极层或者吸收层的制备。设备具有自动化程度高、高效、稳定、可靠性高、重复性好等优点。
设备应用:设备专门用于HJT异质结太阳能电池电池片PVD镀膜或者薄膜太阳能电池片的电极层等制备工艺。可以实现双面ITO镀膜工艺,或者单面镀制Al、Ag、Mo、AZO、Cu、In、Ga或合金膜层。
设备特点:设备采用磁控溅射镀膜工艺,可同时完成硅基太阳能电池片双面TCO膜层镀膜或者实现薄膜太阳能电池电极层或者吸收层的制备。设备具有自动化程度高、高效、稳定、可靠性高、重复性好等优点。
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