ICP磁控光学镀膜机

产品详情

设备简述：TS-CJX系列ICP磁控光学镀膜机是一种新型高速的溅射沉积光学多层膜的镀膜设备。

设备应用：适用于在玻璃镜片，塑料板材/片材等基材的表面镀制AR、超硬AR、BBAR膜层、高反射膜，UV/IR截止滤光片、带通滤光片、彩色膜等精密光学膜的镀膜。还可以实现AF/AS膜的镀制。产品广泛应用在手机、平板电脑、车载中控屏玻璃/塑料板材、光学镜片/镜头等不同领域。

设备特点：设备采用先溅射后离化的ICP镀膜工艺，相比传统的反应溅射工艺，新工艺具有更高的沉积效率、更好的镀膜重复性和更好的膜层品质，膜层品质体现在有更好的膜层致密度和更低的吸收，可以实现精密光学多层膜镀制。设备可以设计成单室或者多室结构，并可以选配自动装卸片装置，以实现更高的生产效率和更低的运行成本。设备配置蒸发镀膜系统，还可以实现AF/AS膜的制备。