广东腾胜科技创新产品-多层膜磁控溅射镀膜生产线
设备介绍
多层膜磁控溅射镀膜是针对玻璃或者塑胶板材/片材等平板型基片表面进行镀膜而设计的立式连续镀膜设备。
适用在玻璃或者塑胶板材/片材表面进行镀膜。设备适合镀制ITO、Ag、Cr、Ti、a-C、DLC等单质膜或者镀制SiO2、Nb2O5、TiO2、TiN、CrN、WO、NiO等介质膜。可用于镀制ITO/AR+ITO透明透明膜、AR增透膜、薄膜太阳能电池AZO膜、电致变色膜等镀层。镀膜产品广泛应用在触摸屏、平板显示、车载玻璃/塑料板材、光学玻璃、薄膜太阳能电池、电致变色智能窗等领域。
1、设备为立式多腔体结构,采用磁控溅射镀膜方式,配置直流或者中频溅射电源,适合镀制多层膜。
2、设备具有稳定性高,自动化程度高,适合大面积或者大批量连续镀膜加工的优点。可实现单面或者双面镀膜。