等离子清洗

等离子清洗机特点

等离子体与固体、液体或气体一样，是一种物质状态，也叫物质的第四态。对气体施加足够的能量使其电离，就会使气体变成等离子态。等离子体的“活性”成分包括：离子、电子、活性基团、激发核素（亚稳态）、光子等。等离子表面处理仪就是利用这些活性成分的性质对样品表面进行处理，从而达到清洗、改性、光刻胶灰化等目的。

等离子清洗机的结构主要分为控制单元、真空室和真空泵三大部分。

等离子清洗的优点如下：

I)等离子清洗后清洗对象干燥，无需进一步干燥即可送往下一道工序。可以提高整个工艺线的加工效率；

2）等离子清洗使得使用者远离了有害溶剂对人体的危害，同时也避免了湿法清洗容易损坏清洗对象的问题；

3）避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，使清洗后不会产生任何有害污染物，因此该清洗方法是一种环保的绿色清洗方法。在世界各国高度重视环境保护的今天，这一点显得越来越重要；

4）无线电波范围内高频产生的等离子与激光等直射光不同，等离子的方向性不强，可以深入物体的微小孔洞、凹陷处完成清洁任务，因此不需要过多考虑被清洁物体的形状，而且对这些难以清洁的区域的清洁效果与氟利昂清洁效果类似甚至更好；

5）采用等离子清洗可以大大提高清洗效率。整个清洗过程可以在几分钟内完成，因此具有良率高的特点；

6）等离子清洗需要控制的真空度在100Pa左右，而这个清洗条件很容易达到，因此该装置的设备成本不高，清洗过程中不需要使用昂贵的有机溶剂，使得整体成本比传统的湿法清洗工艺要低；

7）等离子清洗避免了清洗液的运输、储存和排放，因此生产现场易于保持清洁卫生；

8）等离子清洗无论处理对象是什么，都可以使用。它可以处理多种材料，无论是金属、半导体、氧化物，还是聚合物材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等聚合物）。因此，它特别适用于耐热和耐溶剂的材料。而且可以选择性地清洗材料的整体、局部或复杂结构；

9）在完成清洁去污的同时，材料本身的表面性能也可得到改善。例如，改善表面的润湿性能、提高薄膜的附着力等，在很多应用中都非常重要。