多弧离子镀膜

多弧离子镀膜的特点及应用

多弧离子镀是利用电弧放电方法在固体阴极靶材上直接蒸发金属的方法,蒸发的物质是从阴极电弧亮点发射出的阴极材料的离子,从而在基体表面沉积一层薄膜。
多弧离子镀的优点
(1)等离子体直接从阴极产生,不需要熔池。阴极靶材可根据工件形状任意方向布置,大大简化了夹具。
(2)入射粒子能量高,薄膜致密性高,强度和耐久性好,结合强度好。
(3)电离率高,一般可达60%~80%。
(4)从应用角度看,其突出的优点是蒸发速度快。

薄膜类型

薄膜材质

基材

薄膜特性及应用

金属薄膜

Cr

AI、Zn

Pt

Ni

Au,Cu、AI

P、Au

Au、W、Ti、Ta

Ag、Au、AI、Pt

钢,软钢

钛合金、高碳钢、低碳钢

钛合金

硬玻璃

塑料

镍、铬镍铁合金

钢、不锈钢

硅

抗磨损(机械部件)

防腐(飞机、船舶、汽车)

抗氧化、抗疲劳

耐磨

增加反射性、装饰性

光滑的

耐热性(排气管、汽车、飞机发动机)

电触点、引线

合金

AI Bronze

Co-Cr-AI-Y

不锈钢

中高碳钢

镍合金、高温合金

塑料

润滑(高速旋转部件)

抗氧化

装饰

非金属

B

C

钛

硅、铁、铝、玻璃

耐磨

防腐蚀

化合物

化合物TiN

AIN

CrN

SI3N4

TiC

各类钢材

Mo

AI

Mo

Mo

防腐、防磨损(机械杂工、工具)

抗氧化

耐磨

抗氧化

抗磨损(超硬工具)

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