

设备特点:设备配置电弧源和磁控溅射阴极,电弧源可以根据不同工艺需求选择小平面弧、磁过滤弧或者大平面弧和柱弧等。溅射阴极可以选择平面阴极或者旋转阴极,还可以选择非平衡磁场阴极。配置直流、直流脉冲、双极脉冲、AC交流或者Hipims高功率脉冲电源等,可以实现各种功能薄膜的制备。设备还可以配置脉冲偏压、离子源前处理装置、热灯丝、空心阴极枪或加热烘烤装置等,能够实现更高要求的镀膜工艺。加装蒸发镀膜装置还可以实现AF/AS防指纹镀膜。
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广东省肇庆市端州区端州一路宾日工业村
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